A lézeres folyadékfázisú leválasztás a mikro-és nanoelektronika egyik legeredményesebb technológiai eljárása. Ellentétben a g¿z/gáz fázisú leválasztással nem igényel bonyolult és költséges vacuum rendszert, s a felhasznált anyagok sem toxikusak. Az eljárás lényege abban áll, hogy a hordozóra felvitt, s a leválasztandó anyagot (fémet) tartalmazó réteg határfelületére fókuszált lézer nyaláb kémiai reakciót indukál, minek következtében a leválasztandó anyag megtapad a hordozó felületén. A lateráls és vertikális feloldás, gyakorlatilag az alkalmazott lézerfény hullámhosszának nagyságrendjébe esik. A ¿rétegépítés¿ számos paramétere az alkalmazott lézerparaméterekkel, folytonos, impulzus üzem¿ (lövésszám) hullámhossz, stb könnyen kézben tartható, bizonyos mértékben szabályozható, illetve el¿re tervezhet¿ (tayloring).
Jetzt zum Newsletter anmelden und tolle Angebote und Anregungen für Ihre nächste Lektüre erhalten.
Mit Ihrer Newsletter-Anmeldung erklären Sie sich mit unseren Datenschutzbestimmungen einverstanden.