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Технология МЭМС

- Подход к изготовлению тонких электростат

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  • Sprache:
  • Russisch
  • ISBN:
  • 9786204156699
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 104
  • Veröffentlicht:
  • 14 Oktober 2021
  • Abmessungen:
  • 229x152x6 mm.
  • Gewicht:
  • 163 g.
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