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Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies

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Über Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies

Proceedings of the NATO Advanced Study Institute, held in Kaunas, Lithuania, from 3-14 September 2001

Sprache:
Englisch

ISBN:
9781402005251

Verlag:
Springer-Verlag New York Inc.

Einband:
Taschenbuch

Seitenzahl:
363

Veröffentlicht:
30. April 2002

Ausgabe:
12002

Abmessungen:
234x156x20 mm.

Gewicht:
1190 g.

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Beschreibung von Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies

Proceedings of the NATO Advanced Study Institute, held in Kaunas, Lithuania, from 3-14 September 2001

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