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Development and Characterization of a Dispersion-Encoded Method for Low-Coherence Interferometry

von Christopher Taudt
Development and Characterization of a Dispersion-Encoded Method for Low-Coherence Interferometry von Christopher Taudt
Über Development and Characterization of a Dispersion-Encoded Method for Low-Coherence Interferometry

During a characterization, it was shown that an axial measurement range of 79.91 m with an axial resolution of 0.1 nm is achievable. Also, the axial and lateral measurement range were decoupled partially while functional parameters such as surface roughness were estimated.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783658359256
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 163
  • Veröffentlicht:
  • 17. November 2021
  • Ausgabe:
  • 12022
  • Abmessungen:
  • 148x210x0 mm.
  • Gewicht:
  • 254 g.
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Über Christopher Taudt

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Beschreibung von Development and Characterization of a Dispersion-Encoded Method for Low-Coherence Interferometry

During a characterization, it was shown that an axial measurement range of 79.91 m with an axial resolution of 0.1 nm is achievable. Also, the axial and lateral measurement range were decoupled partially while functional parameters such as surface roughness were estimated.

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