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Die besonderen Bedingungen der Abscheidung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten in Hohlkathodenanordnungen mit hohen Aspektverhältnissen

  • Sprache:
  • Deutsch
  • ISBN:
  • 9783863602000
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 204
  • Veröffentlicht:
  • 1. Januar 2019
  • Abmessungen:
  • 148x12x210 mm.
  • Gewicht:
  • 271 g.
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