Name: Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
Price: 79.99 EUR
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Author: Walter Olbrich
ISBN: 9783540585114

Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren von Walter Olbrich

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Taschenbuch
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79,99 €

Sprache:
Deutsch

ISBN:
9783540585114

Verlag:
Springer Berlin Heidelberg

Einband:
Taschenbuch

Seitenzahl:
128

Veröffentlicht:
21. Oktober 1994

Abmessungen:
148x8x210 mm.

Gewicht:
177 g.

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