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Über Environmental, Safety, and Health Issues in IC Production: Volume 447

This book provides an overview of the available scientific information on environmentally benign IC production. A broad range of topics is addressed including work on resource reduction for chemicals, gases and DI water, reuse or recycling of chemicals, waste treatment strategies, environmentally friendly alternative technologies and analytical technologies for environmental studies.

Sprache:
Englisch

ISBN:
9781558993518

Verlag:
Materials Research Society

Einband:
Gebundene Ausgabe

Seitenzahl:
168

Veröffentlicht:
5. Juni 1997

Abmessungen:
160x237x15 mm.

Gewicht:
400 g.

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This book provides an overview of the available scientific information on environmentally benign IC production. A broad range of topics is addressed including work on resource reduction for chemicals, gases and DI water, reuse or recycling of chemicals, waste treatment strategies, environmentally friendly alternative technologies and analytical technologies for environmental studies.

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