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Film Deposition by Plasma Techniques

von Mitsuharu Konuma

enthalten in Springer Series on Atomic, Optical, and Plasma Physics-Reihe

Film Deposition by Plasma Techniques von Mitsuharu Konuma
  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783642845130
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 240
  • Veröffentlicht:
  • 15. Dezember 2011
  • Abmessungen:
  • 155x14x235 mm.
  • Gewicht:
  • 371 g.
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