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Flash Lamp Annealing

- From Basics to Applications

von Lars Rebohle

enthalten in Springer Series in Materials Science-Reihe

Flash Lamp Annealing von Lars Rebohle Sie sparen 13% des UVP sparen 13%
Über Flash Lamp Annealing

This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. Moreover, this books gives a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature survey.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783030233013
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 288
  • Veröffentlicht:
  • 14. August 2020
  • Ausgabe:
  • 12019
  • Abmessungen:
  • 155x235x0 mm.
  • Gewicht:
  • 474 g.
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Über Lars Rebohle

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Beschreibung von Flash Lamp Annealing

This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. Moreover, this books gives a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature survey.

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