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Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices

Über Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices

Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices: Towards an Atomic Scale Understanding, St. Petersburg, Russia, August 4-8, 1997

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9780792350071
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 507
  • Veröffentlicht:
  • 1 März 1998
  • Ausgabe:
  • 1998
  • Abmessungen:
  • 244x170x28 mm.
  • Gewicht:
  • 962 g.
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Beschreibung von Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices

Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices: Towards an Atomic Scale Understanding, St. Petersburg, Russia, August 4-8, 1997

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