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Über Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices

Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices: Towards an Atomic Scale Understanding, St. Petersburg, Russia, August 4-8, 1997

Sprache:
Englisch

ISBN:
9780792350088

Verlag:
Springer

Einband:
Taschenbuch

Seitenzahl:
507

Veröffentlicht:
1. März 1998

Ausgabe:
11998

Abmessungen:
240x160x26 mm.

Gewicht:
1590 g.

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Beschreibung von Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices

Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices: Towards an Atomic Scale Understanding, St. Petersburg, Russia, August 4-8, 1997

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