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Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases

Über Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases

The primary electron-molecule interaction processes of elastic and in elastic electron scattering, electron-impact ionization, electron-impact dissociation, and electron attachment are discussed, and state-of-the art authoritative data on the cross sections of these processes as well as on rate and transport coefficients are provided.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9780306480379
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 781
  • Veröffentlicht:
  • 31. Dezember 2003
  • Ausgabe:
  • 2004
  • Abmessungen:
  • 235x155x43 mm.
  • Gewicht:
  • 2850 g.
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Beschreibung von Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases

The primary electron-molecule interaction processes of elastic and in elastic electron scattering, electron-impact ionization, electron-impact dissociation, and electron attachment are discussed, and state-of-the art authoritative data on the cross sections of these processes as well as on rate and transport coefficients are provided.

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