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Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases

Über Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases

The primary electron-molecule interaction processes of elastic and in elastic electron scattering, electron-impact ionization, electron-impact dissociation, and electron attachment are discussed, and state-of-the art authoritative data on the cross sections of these processes as well as on rate and transport coefficients are provided.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9781461347415
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 781
  • Veröffentlicht:
  • 21. September 2012
  • Ausgabe:
  • 12004
  • Abmessungen:
  • 234x156x40 mm.
  • Gewicht:
  • 1205 g.
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Beschreibung von Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases

The primary electron-molecule interaction processes of elastic and in elastic electron scattering, electron-impact ionization, electron-impact dissociation, and electron attachment are discussed, and state-of-the art authoritative data on the cross sections of these processes as well as on rate and transport coefficients are provided.

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