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Introductory MEMS

- Fabrication and Applications

von Thomas M. Adams
Introductory MEMS von Thomas M. Adams Sie sparen 12% des UVP sparen 12%
Über Introductory MEMS

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9781489984210
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 440
  • Veröffentlicht:
  • 7. September 2014
  • Ausgabe:
  • 2010
  • Abmessungen:
  • 155x235x24 mm.
  • Gewicht:
  • 700 g.
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Über Thomas M. Adams

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Beschreibung von Introductory MEMS

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques.

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