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Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials

enthalten in The IBM Research Symposia Series-Reihe

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Über Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials

During the years since the first conference in this series was held at Thousand Oaks, California, in 1970, ion implantation has been an expanding and exciting research area.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9781468420661
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 658
  • Veröffentlicht:
  • 26. März 2012
  • Ausgabe:
  • 11973
  • Abmessungen:
  • 244x170x34 mm.
  • Gewicht:
  • 1140 g.
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Beschreibung von Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials

During the years since the first conference in this series was held at Thousand Oaks, California, in 1970, ion implantation has been an expanding and exciting research area.

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