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Ion Implantation Techniques

- Lectures given at the Ion Implantation School in Connection with Fourth International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-15, 1982

enthalten in Springer Series in Electronics and Photonics-Reihe

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783642687815
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 374
  • Veröffentlicht:
  • 7. Dezember 2011
  • Ausgabe:
  • 11982
  • Abmessungen:
  • 229x152x20 mm.
  • Gewicht:
  • 566 g.
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