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  5. Ion-Solid Interactions

Ion-Solid Interactions

- Fundamentals and Applications

von Michael (Los Alamos National Laboratory) Nastasi

enthalten in Cambridge Solid State Science Series-Reihe

Ion-Solid Interactions von Michael (Los Alamos National Laboratory) Nastasi
Über Ion-Solid Interactions

This book describes how materials, from semiconductors to tool steels, can be modified to create new materials. Its importance is that it is the first book in two decades to describe completely the implantation process which is used universally in semiconductor production.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9780521616065
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 572
  • Veröffentlicht:
  • 2. Dezember 2004
  • Abmessungen:
  • 164x232x35 mm.
  • Gewicht:
  • 880 g.
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Über Michael (Los Alamos National Laboratory) Nastasi

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Beschreibung von Ion-Solid Interactions

This book describes how materials, from semiconductors to tool steels, can be modified to create new materials. Its importance is that it is the first book in two decades to describe completely the implantation process which is used universally in semiconductor production.

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