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Kombination Von Plasmanitrierung Und Plasmagestutzter Schichtabscheidung Aus Der Gasphase (Pacvd) in Einem Verfahrensablauf

  • Sprache:
  • Deutsch
  • ISBN:
  • 9783540645672
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 147
  • Veröffentlicht:
  • 3. Juni 1998
  • Abmessungen:
  • 234x156x8 mm.
  • Gewicht:
  • 222 g.
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