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Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasisvon Marlene Kopf
  • Sprache:
  • Deutsch
  • ISBN:
  • 9783731511212
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 220
  • Veröffentlicht:
  • 31. März 2022
  • Abmessungen:
  • 148x14x210 mm.
  • Gewicht:
  • 326 g.
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