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Laser Heat-Mode Lithography

- Principle and Methods

von Jingsong Wei

enthalten in Springer Series in Materials Science-Reihe

Laser Heat-Mode Lithography von Jingsong Wei Sie sparen 11% des UVP sparen 11%
Über Laser Heat-Mode Lithography

This book provides a systematic description and analysis of laser heat-mode lithography, addressing the basic principles, lithography system, manipulation of feature size, grayscale lithography, resist thin films, and pattern transfer, while also presenting typical experimental results and applications.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9789811509421
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 208
  • Veröffentlicht:
  • 29. November 2019
  • Ausgabe:
  • 12019
  • Abmessungen:
  • 155x235x0 mm.
  • Gewicht:
  • 506 g.
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Über Jingsong Wei

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Beschreibung von Laser Heat-Mode Lithography

This book provides a systematic description and analysis of laser heat-mode lithography, addressing the basic principles, lithography system, manipulation of feature size, grayscale lithography, resist thin films, and pattern transfer, while also presenting typical experimental results and applications.

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