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Laser Processing of Thin Films and Microstructures

- Oxidation, Deposition and Etching of Insulators

Über Laser Processing of Thin Films and Microstructures

This text aims at providing a comprehensive and up to date treatment of the new and rapidly expanding field of laser pro cessing of thin films, particularly, though by no means exclu sively, of recent progress in the dielectrics area.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783642831386
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 320
  • Veröffentlicht:
  • 15. Dezember 2011
  • Ausgabe:
  • 11987
  • Abmessungen:
  • 234x156x17 mm.
  • Gewicht:
  • 505 g.
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Beschreibung von Laser Processing of Thin Films and Microstructures

This text aims at providing a comprehensive and up to date treatment of the new and rapidly expanding field of laser pro cessing of thin films, particularly, though by no means exclu sively, of recent progress in the dielectrics area.

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