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Lecture Notes on Principles of Plasma Processing

  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9780306474972
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 224
  • Veröffentlicht:
  • 31. Januar 2003
  • Abmessungen:
  • 210x13x279 mm.
  • Gewicht:
  • 558 g.
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