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Low Dielectric Constant Materials for IC Applications

enthalten in Springer Series in Advanced Microelectronics-Reihe

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Über Low Dielectric Constant Materials for IC Applications

Low dielectric constant materials are an important component of microelectronic devices. Topics include: Organic dielectric materials, Inorganic dielectric materials, Composite dielectric materials, Metrology and characterization techniques, Integration, Reliability.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783540678199
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 310
  • Veröffentlicht:
  • 14. November 2002
  • Ausgabe:
  • 2003
  • Abmessungen:
  • 234x156x19 mm.
  • Gewicht:
  • 1430 g.
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Beschreibung von Low Dielectric Constant Materials for IC Applications

Low dielectric constant materials are an important component of microelectronic devices. Topics include: Organic dielectric materials, Inorganic dielectric materials, Composite dielectric materials, Metrology and characterization techniques, Integration, Reliability.

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