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LPCVD Silicon Nitride and Oxynitride Films

enthalten in Project 369-Reihe

  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783540539544
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 172
  • Veröffentlicht:
  • 28. Mai 1991
  • Abmessungen:
  • 170x10x244 mm.
  • Gewicht:
  • 309 g.
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