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Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten

von Pierre Pötschick

enthalten in Dresdner Beiträge zur Sensorik; Bd. 57-Reihe

Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichtenvon Pierre Pötschick
  • Sprache:
  • Deutsch
  • ISBN:
  • 9783959080149
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 144
  • Veröffentlicht:
  • 27 Oktober 2015
  • Abmessungen:
  • 158x10x225 mm.
  • Gewicht:
  • 250 g.
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