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Über MEMS and NEMS

The technological revolution precipitated by micro- and nanoelectromechanical systems (MEMS and NEMS) will change the nature of most human-made structures, devices, and systems. This book brings together the various paradigms, methods, techniques, and technologies associated with MEMS and NEMS in a presentation accessible to a broad audience.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9780849312625
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 461
  • Veröffentlicht:
  • 18. Januar 2002
  • Abmessungen:
  • 156x234x34 mm.
  • Gewicht:
  • 1040 g.
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Beschreibung von MEMS and NEMS

The technological revolution precipitated by micro- and nanoelectromechanical systems (MEMS and NEMS) will change the nature of most human-made structures, devices, and systems. This book brings together the various paradigms, methods, techniques, and technologies associated with MEMS and NEMS in a presentation accessible to a broad audience.

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