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Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication

von Klaus Graff

enthalten in Springer Series in Materials Science-Reihe

Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication von Klaus Graff Sie sparen 11% des UVP sparen 11%
Über Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication

This up-to-date monograph provides a thorough review of the relevant data and properties of the transition-metal impurities generated during silicon-sample and device fabrication. This new edition includes important recent data and many new tables.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783540642138
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 270
  • Veröffentlicht:
  • 18. Februar 2000
  • Ausgabe:
  • 2
  • Abmessungen:
  • 155x235x0 mm.
  • Gewicht:
  • 606 g.
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Über Klaus Graff

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Beschreibung von Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication

This up-to-date monograph provides a thorough review of the relevant data and properties of the transition-metal impurities generated during silicon-sample and device fabrication. This new edition includes important recent data and many new tables.

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