Metall silisidlar asosida termodatchiklar olish texnologiyasi

Mazkur monografiyada marganes oliy silisidi MOS monokristallini magnetron changlatib hosil qilingan Mn_4 Si_7 plyonkalarining ösish jarayonidagi strukturaviy xususiyatlarini tahlil qilish va metall silitsidlar asosida yaratilayotgan termodatchiklarni elektrofizikaviy xossa va xususiyatlarini örganish va ularni mikro va nano elektronika sohasida qöllanilish imkoniyatlarini baholashga bag`ishlangan.Monografiya ¿TIQXMMI¿ Milliy tadqiqot universitetining Qarshi irrigatsiya va agrotexnologiyalar instituti Kengashi tomonidan (2023-yil 24-noyabr dagi 4-sonli bayonnoma) chop etishga tavsiya etilgan.