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Micro and Nano Fabrication

- Tools and Processes

von Hans H. Gatzen, Volker Saile, Jurg Leuthold
Micro and Nano Fabrication von Hans H. Gatzen Sie sparen 12% des UVP sparen 12%
Über Micro and Nano Fabrication

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783662508268
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 519
  • Veröffentlicht:
  • 6. Oktober 2016
  • Ausgabe:
  • 12015
  • Abmessungen:
  • 235x155x28 mm.
  • Gewicht:
  • 1115 g.
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Über Hans H. Gatzen

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Beschreibung von Micro and Nano Fabrication

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.

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