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Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting

enthalten in Springer Theses-Reihe

Über Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting

This book presents a universal mass-production micro/nano integrated fabrication technology, which can be used to realize micro/nano hierarchical structures on Si-based materials and flexible polymeric materials.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783662569573
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 122
  • Veröffentlicht:
  • 27. März 2019
  • Ausgabe:
  • 12016
  • Gewicht:
  • 231 g.
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Beschreibung von Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting

This book presents a universal mass-production micro/nano integrated fabrication technology, which can be used to realize micro/nano hierarchical structures on Si-based materials and flexible polymeric materials.

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