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  5. Modelling of Microfabrication Systems

Modelling of Microfabrication Systems

von Raja Nassar, Weizhong Dai

enthalten in Microtechnology and MEMS-Reihe

Modelling of Microfabrication Systems von Raja Nassar Sie sparen 12% des UVP sparen 12%
Über Modelling of Microfabrication Systems

This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783540002529
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 270
  • Veröffentlicht:
  • 13. Juni 2003
  • Ausgabe:
  • 2003
  • Abmessungen:
  • 234x156x17 mm.
  • Gewicht:
  • 1270 g.
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Über Raja Nassar

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Beschreibung von Modelling of Microfabrication Systems

This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.

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