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Photomodulated Optical Reflectance

- A Fundamental Study Aimed at Non-Destructive Carrier Profiling in Silicon

enthalten in Springer Theses-Reihe

Über Photomodulated Optical Reflectance

Among the plethora of measurement techniques, the optical reflectance approach developed in this work is the sole concept that does not require physical contact, making it suitable for non-invasive in-line metrology.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783642301070
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 204
  • Veröffentlicht:
  • 27. Juni 2012
  • Ausgabe:
  • 2012
  • Abmessungen:
  • 235x155x18 mm.
  • Gewicht:
  • 512 g.
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Beschreibung von Photomodulated Optical Reflectance

Among the plethora of measurement techniques, the optical reflectance approach developed in this work is the sole concept that does not require physical contact, making it suitable for non-invasive in-line metrology.

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