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Physics of Microfabrication

Über Physics of Microfabrication

The Physical Electronics Department of SRI International (formerly Stanford Research Institute) has been pioneering the development of devices fabricated to submicron tolerances for well over 20 years.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9780306408632
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 504
  • Veröffentlicht:
  • 1. Mai 1982
  • Ausgabe:
  • 1982
  • Abmessungen:
  • 234x156x30 mm.
  • Gewicht:
  • 2010 g.
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Beschreibung von Physics of Microfabrication

The Physical Electronics Department of SRI International (formerly Stanford Research Institute) has been pioneering the development of devices fabricated to submicron tolerances for well over 20 years.

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