Pow¿oki polimerowe nanoszone metod¿ Pulsacyjnej Ablacji elektronowej

W badaniu osadzono pow¿oki z politetrafluoroetylenu (teflonu na krzemowym pod¿o¿u w procesie pulsacyjnego osadzania wi¿zki elektronów ¿PED. Osadzanie pow¿ok polimerowych za pomoc¿ PED jest stosunkowo nieznan¿ technik¿. Ze wzgl¿du na ograniczon¿ wiedz¿ na temat zastosowania tej techniki do osadzania pow¿ok polimerowych przeprowadzone badania miäy charakter eksploracyjny. Osadzanie pow¿ok z politetrafluoroetylenu przeprowadzono w 24 °C przy ró¿nych ci¿nieniach w zakresie 1 -11 mTorr i ró¿nych warto¿ciach napi¿¿. Osadzanie pow¿ok miäo miejsce w obecno¿ci argonu i azotu. Mikroskop optyczny zastosowano do oceny powierzchni pow¿ok po te¿cie przyczepno¿ci. Ocen¿ przyczepno¿ci pow¿ok i wst¿pn¿ ocen¿ ich w¿äciwo¿ci mechanicznych przeprowadzono za pomoc¿ Nano Twardo¿ciomierza. Wykazano wp¿yw parametrów osadzania na ich w¿äciwo¿ci mechaniczne jednak jednoznaczna interpretacja wyników nie by¿a mo¿liwa ze wzgl¿du na losowy charakter badä.