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Process Variations in Microsystems Manufacturing

Über Process Variations in Microsystems Manufacturing

This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783030405588
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 521
  • Veröffentlicht:
  • 10. April 2020
  • Ausgabe:
  • 12020
  • Abmessungen:
  • 155x235x0 mm.
  • Gewicht:
  • 975 g.
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Beschreibung von Process Variations in Microsystems Manufacturing

This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps.

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