Name: Process Variations in Microsystems Manufacturing
Price: 137.00 EUR
Availability: InStock
Author: Michael Huff
ISBN: 9783030405588

Process Variations in Microsystems Manufacturing von Michael Huff

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Über Process Variations in Microsystems Manufacturing

This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps.

Sprache:
Englisch

ISBN:
9783030405588

Verlag:
Springer Nature Switzerland AG

Einband:
Gebundene Ausgabe

Seitenzahl:
521

Veröffentlicht:
10. April 2020

Ausgabe:
12020

Abmessungen:
155x235x0 mm.

Gewicht:
975 g.

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