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Scanning Probe Lithography

enthalten in Microsystems-Reihe

Über Scanning Probe Lithography

Scanning Probe Lithography (SPL) describes recent advances in the field of scanning probe lithography, a high resolution patterning technique that uses a sharp tip in close proximity to a sample to pattern nanometer-scale features on the sample.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9780792373612
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 197
  • Veröffentlicht:
  • 1 Januar 2001
  • Ausgabe:
  • 2001
  • Abmessungen:
  • 235x155x14 mm.
  • Gewicht:
  • 1100 g.
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Beschreibung von Scanning Probe Lithography

Scanning Probe Lithography (SPL) describes recent advances in the field of scanning probe lithography, a high resolution patterning technique that uses a sharp tip in close proximity to a sample to pattern nanometer-scale features on the sample.

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