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Scanning Probe Lithography

von Hyongsok T. Soh, Kathryn Wilder Guarini, Calvin F. Quate

enthalten in Microsystems-Reihe

Scanning Probe Lithography von Hyongsok T. Soh Sie sparen 11% des UVP sparen 11%
Über Scanning Probe Lithography

Scanning Probe Lithography (SPL) describes recent advances in the field of scanning probe lithography, a high resolution patterning technique that uses a sharp tip in close proximity to a sample to pattern nanometer-scale features on the sample.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9781441948946
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 197
  • Veröffentlicht:
  • 8. Dezember 2010
  • Ausgabe:
  • 12001
  • Abmessungen:
  • 234x156x12 mm.
  • Gewicht:
  • 710 g.
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Über Hyongsok T. Soh

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Beschreibung von Scanning Probe Lithography

Scanning Probe Lithography (SPL) describes recent advances in the field of scanning probe lithography, a high resolution patterning technique that uses a sharp tip in close proximity to a sample to pattern nanometer-scale features on the sample.

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