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Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique

- A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783642060489
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 222
  • Veröffentlicht:
  • 13. Oktober 2010
  • Ausgabe:
  • 12005
  • Abmessungen:
  • 235x155x13 mm.
  • Gewicht:
  • 367 g.
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