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Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments

Über Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments

This book reviews state-of-the-art Silicon Carbide (SiC) technologies. It includes reviews of MEMS devices and provides a framework for the joining of electronics and MEMS along with packaging into usable harsh-environment-ready sensor modules.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9781461428824
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 232
  • Veröffentlicht:
  • 14. Juli 2013
  • Ausgabe:
  • 2011
  • Abmessungen:
  • 235x155x14 mm.
  • Gewicht:
  • 385 g.
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Beschreibung von Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments

This book reviews state-of-the-art Silicon Carbide (SiC) technologies. It includes reviews of MEMS devices and provides a framework for the joining of electronics and MEMS along with packaging into usable harsh-environment-ready sensor modules.

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