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Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration

Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integrationvon Joachim Kusterer
  • Sprache:
  • Deutsch
  • ISBN:
  • 9783869552842
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 118
  • Veröffentlicht:
  • 16. August 2010
  • Abmessungen:
  • 148x6x210 mm.
  • Gewicht:
  • 164 g.
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