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Technologien Fur Mikrosysteme

- Stand Und Entwicklung / Integrier Optik -- Schichttechniken -- Mikromechanik -- Halbleitetechniken -- Faseroptik

enthalten in VDI-Buch-Reihe

  • Sprache:
  • Deutsch
  • ISBN:
  • 9783540622284
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 222
  • Veröffentlicht:
  • 9. Dezember 1993
  • Ausgabe:
  • 1993
  • Abmessungen:
  • 210x148x13 mm.
  • Gewicht:
  • 295 g.
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