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X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control

X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality controlvon Frieder Johannes Koch
  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783731506799
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 170
  • Veröffentlicht:
  • 16. Oktober 2017
  • Abmessungen:
  • 148x11x210 mm.
  • Gewicht:
  • 255 g.
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