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Flash Lamp Annealing

- From Basics to Applications

Über Flash Lamp Annealing

This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. Moreover, this books gives a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature survey.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783030232986
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 288
  • Veröffentlicht:
  • 6. August 2019
  • Ausgabe:
  • 12019
  • Gewicht:
  • 629 g.
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Beschreibung von Flash Lamp Annealing

This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. Moreover, this books gives a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature survey.

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