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Introductory MEMS

- Fabrication and Applications

von Thomas M. Adams, Richard A. Layton
Introductory MEMS von Thomas M. Adams Sie sparen 19% des UVP sparen 19%
Über Introductory MEMS

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9780387095103
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 444
  • Veröffentlicht:
  • 1. Dezember 2008
  • Abmessungen:
  • 166x241x33 mm.
  • Gewicht:
  • 836 g.
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Über Thomas M. Adams

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Beschreibung von Introductory MEMS

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques.

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