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Machine Learning-Based Modelling in Atomic Layer Deposition Processes

Über Machine Learning-Based Modelling in Atomic Layer Deposition Processes

This book describes the application of machine learning modelling approaches in atomic layer deposition and presents detailed information on modelling, optimization, and prediction of the behaviour and characteristics of ALD for improved process quality control.

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  • Sprache:
  • Unbekannt
  • ISBN:
  • 9781032386706
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 354
  • Veröffentlicht:
  • 15. Dezember 2023
  • Abmessungen:
  • 156x0x234 mm.
  • Gewicht:
  • 852 g.
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Beschreibung von Machine Learning-Based Modelling in Atomic Layer Deposition Processes

This book describes the application of machine learning modelling approaches in atomic layer deposition and presents detailed information on modelling, optimization, and prediction of the behaviour and characteristics of ALD for improved process quality control.

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