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  5. Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators

Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators

von Da Chen, Yafei Zhang
Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators von Da Chen
Über Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators

This book surveys the theory, design, fabrication and application multilayer integrated film bulk acoustic resonators. Covers use in integrated circuits, optical devices, acoustic resonators, micro-nano manufacturing, multilayer integration, and more.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783642317750
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 154
  • Veröffentlicht:
  • 28. August 2012
  • Ausgabe:
  • 2013
  • Abmessungen:
  • 234x156x11 mm.
  • Gewicht:
  • 418 g.
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Beschreibung von Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators

This book surveys the theory, design, fabrication and application multilayer integrated film bulk acoustic resonators. Covers use in integrated circuits, optical devices, acoustic resonators, micro-nano manufacturing, multilayer integration, and more.

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