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Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators

Über Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators

This book surveys the theory, design, fabrication and application multilayer integrated film bulk acoustic resonators. Covers use in integrated circuits, optical devices, acoustic resonators, micro-nano manufacturing, multilayer integration, and more.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783642427558
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 154
  • Veröffentlicht:
  • 19. September 2014
  • Abmessungen:
  • 235x155x9 mm.
  • Gewicht:
  • 2584 g.
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Beschreibung von Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators

This book surveys the theory, design, fabrication and application multilayer integrated film bulk acoustic resonators. Covers use in integrated circuits, optical devices, acoustic resonators, micro-nano manufacturing, multilayer integration, and more.

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