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Planar Waveguide Optical Sensors

- From Theory to Applications

Über Planar Waveguide Optical Sensors

This book concentrates on the design and development of integrated optic waveguide sensors using silicon based materials. It gives the readers the full background in the field of sensors, reasons for using silicon oxynitride as a potential waveguide material as well as its fabrication processes and possible uses.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783319351391
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 179
  • Veröffentlicht:
  • 30. August 2016
  • Ausgabe:
  • 12016
  • Abmessungen:
  • 235x155x13 mm.
  • Gewicht:
  • 553 g.
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Beschreibung von Planar Waveguide Optical Sensors

This book concentrates on the design and development of integrated optic waveguide sensors using silicon based materials. It gives the readers the full background in the field of sensors, reasons for using silicon oxynitride as a potential waveguide material as well as its fabrication processes and possible uses.

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