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Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of III-Nitride Thin Films

  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9783659208232
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 180
  • Veröffentlicht:
  • 17. März 2014
  • Abmessungen:
  • 229x152x10 mm.
  • Gewicht:
  • 272 g.
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