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Precision Nanometrology

- Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing

von Wei Gao

enthalten in Springer Series in Advanced Manufacturing-Reihe

Precision Nanometrology von Wei Gao Sie sparen 13% des UVP sparen 13%
Über Precision Nanometrology

Precision Nanometrology describes the new field of precision nanometrology, which plays an important part in nanoscale manufacturing of semiconductors, optical elements, precision parts and similar items.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9781447157434
  • Einband:
  • Taschenbuch
  • Seitenzahl:
  • 354
  • Veröffentlicht:
  • 4. November 2014
  • Ausgabe:
  • 2010
  • Abmessungen:
  • 235x155x20 mm.
  • Gewicht:
  • 569 g.
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Beschreibung von Precision Nanometrology

Precision Nanometrology describes the new field of precision nanometrology, which plays an important part in nanoscale manufacturing of semiconductors, optical elements, precision parts and similar items.

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